• 넥스틴, 20나노 결함 파악하는 반도체 DUV 검사 장비 '제니스' 개발

    넥스틴, 20나노 결함 파악하는 반도체 DUV 검사 장비 '제니스' 개발

    넥스틴이 심자외선(DUV) 기반 반도체 웨이퍼 초미세 결함을 검사하는 브라이트 필드 장비를 내년 출시한다. 기존 자외선(UV) 기반 다크필드 검사장비보다 고부가가치 제품으로 시장 진입 시 수익성 개선이 기대된다. 14일 업계에 따르면 넥스틴은 최근 DUV 브라이트 필드 넥스틴이 심자외선(DUV) 기반 반도체 웨이퍼 초미세 결함을 검사하는 브라이트 필드 장비를 내년 출시한다. 기존 자외선(UV) 기반 다크필드 검사장비보다 고부가가치 제품으로 시장 진입 시 수익성 개선이 기대된다. 14일 업계에 따르면 넥스틴은 최근 DUV 브라이트 필드

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